Autoři
Druh výsledku
funkční vzorek
Popis
Membrána bolometru pro detekci IR záření je vyrobena na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrát jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena.
