Membrány bolometru 2. generace

Design membrán bolometrů druhé generace byl vytvořen pomocí skriptovacího kódu v NanoLithography Toolbox. Bylo vytvořeno několik velikostí čtvercových membrán, a to s rozměry strany membrány 17.5 µm, 25 µm, 30 µm a 40 µm. Membrány bolometru slouží pro detekci IR záření a jsou vyrobeny na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrátu jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena. Pro snížení teplotní časové konstanty τ je zúžena a prodloužena noha vedoucí k membráně bolometru. Byl také přidán výrobní krok pro vytvoření závěsů, které zabraňují podleptání bolometrů do stran.